第671章 第二步:覆海!破晓 A220 EUV光刻机 首页

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第671章 第二步:覆海!破晓 A220 EUV光刻机(5/6)

点37分,距离真空泵启动已经过去了半个多小时。

他俯下身子,对着麦克风,向实验室的工作人员叮嘱道:“曝光开始,单次曝光时间设置为0.5秒,记录所有参数。”

核心腔室的观察窗内,淡紫色的微光骤然亮了一下,旋即恢复柔和。

光路末端的探测器疯狂刷新着数据,屏幕上跳出一行行代表“曝光能量密度”、“线宽均匀度”、“图形套刻精度”的数值。

每一个数字都在朝着合格的方向靠近!

0.5秒的时间,却像一个世纪那么漫长。

当曝光完成的提示音在控制室内响起时,汪象朝立刻操控机械臂将测试晶圆移出,送往检测室。

一行人都跟了过去,连脚步都变得急促起来。

在精密的EUV掩模版检测仪下,当第一张晶圆的光刻图案清晰显示在屏幕上时,现场彻底沸腾了。

线条细如蛛丝,却没有一丝断裂或模糊,每一个晶体管的轮廓都精准得如同复刻。

光刻机的运行原理就像印刷机,又像照相机,只不过它所运用的‘画笔’和‘画板’都更为精细。

“成了!真的成了!”

汪象朝喃喃低语,双手在发抖,嘴里发出‘呵呵呵’的笑声,压抑中带着亢奋。

不一会儿,笑声变得呜咽。

他今年五十九岁,在EUV光源领域已经摸爬滚打了大半辈子。

曾经的他,眼看着自己的人生快要走到尽头,连EUV光源的技术突破也渐渐看不到希望,心里满是无力。

可谁曾想,星源科技会在这时横空出世,不仅打破了僵局,更给华国自主研发光刻机带来了全新的希望。

如今造出了EUV光刻机和烛龙G1051五轴联动数控机床,往后华国芯片产业和高端制造业,总算不用再看别人脸色了!

汪象朝抹了把脸,想把激动的泪水憋回去,可嘴角却控制不住地往上扬,最后索性也不掩饰,任由泪水顺着脸颊往下淌。

这眼泪里,有大半辈子的遗憾,更有苦尽甘来的畅快。

林南见状,拍了拍他的肩膀,温言劝慰道:“汪工,咱们没白等,也没白干!”

站在人群里的梁劲松一脸唏嘘,他暗暗打量着陈延森,默默给出评价:妖怪级别的天才!

要知道,世界上大部分的技术突破,都

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