第310章 土法上马 首页

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第310章 土法上马(4/6)

实不理想。有的胶涂不均匀,有的曝光后根本硬不起来,有的显影时整片脱落。

到了下午,终于有一批勉强能用。在硅片上曝光后,能形成模糊的图案,虽然线条边缘像狗啃的一样,但至少是个图案。

“赵总工,您看。”林雪把晶圆递过来。

赵四对着光看。线条很粗糙,有的地方宽,有的地方窄,但连续性是好的。

“能蚀刻吗?”

“试了,能。”林雪说,“但蚀刻后的线条更难看,而且有钻蚀现象。”

“先不管美观。”赵四放下晶圆,“用这个胶,做一片完整的芯片,从开始到结束,全过程走一遍。看最终能不能出管芯,能不能测试。”

“现在?”

“现在。”

整个车间都动员起来。这是第一次用自制光刻胶走完整流程,每个人都紧张。

涂胶、前烘、曝光、显影、后烘、蚀刻……一步接着一步。王技术员全程跟着,脸色煞白,手都在抖。

赵四没催她,只是站在旁边看。

蚀刻完成时,天已经黑了。硅片上传质层上,出现了歪歪扭扭但完整的电路图案。

“成了!”有人小声说。

“还没完。”陈启明很冷静,“还有扩散、离子注入、金属化、划片、封装、测试。差一步都不算成。”

但他眼里有光。

夜里十点,第一片用自制光刻胶制作的管芯终于出来了。丑得让人不忍直视,但毕竟是完整的。

测试台前围满了人。张卫东把管芯夹在探针台上,接通测试仪。

“上电。”

指示灯亮了。

“测电源电流。”

“正常。”

“测基本功能……”

一项项测下来。虽然性能参数惨不忍睹。速度只有设计值的三分之一,功耗却高了一倍,但所有基本功能都实现了。这是一个能工作的、虽然很烂的4位处理器核。

当最后一项测试通过时,车间里爆发出欢呼声。

“成了!真成了!”

“土胶也能造芯片!”

王技术员一屁股坐在地上,眼泪刷地流下来。她五十多岁的人了,哭得像个孩子。

赵四走过去,扶她起来:“王工,辛苦了。”

“不辛苦……不辛苦……”王技术员抹着眼泪,“我就是……就是没想到,真能行……”

“这只是第一步。”赵四说,“胶

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